如何測量幾微米厚度的的東西，或者更?。?/h1>

更新時間：2022-12-19點(diǎn)擊次數(shù)：1477

作為一個做微納的研究狗，感覺老婆太大了，看不到微米尺度！先說主要問題。

如果類似手機(jī)膜的物體厚度近百微米甚至幾百微米，請直接用螺旋千分尺測量，俗稱千分尺，就是下圖的儀器?？梢赃_(dá)到10μm m的測量精度，日常估計手機(jī)貼膜就夠了。如果薄膜厚度為幾微米或更小，普通的機(jī)械測量裝置將不起作用。在科學(xué)研究中，針對不同的膠片，有多種測量方法。讓我們舉幾個例子。

1.橢偏儀。這是一種非接觸式光學(xué)測量儀，下圖中對稱的就是橢偏儀。這個儀器有兩個臂，一個是發(fā)光臂，可以發(fā)出一定帶寬的光(比如從近紫外到近紅外)，另一個是接收臂，嚴(yán)格對稱。通過測量波長和偏振態(tài)，可以同時獲得包括薄膜厚度在內(nèi)的許多參數(shù)。而且只要是薄膜，不管是金屬材料還是玻璃等介質(zhì)，理論上都可以用這個儀器測量?？梢詮募{米尺度測量到微米尺度(甚至更厚，但不是必須的)。如果是普通材料，精度往往很高。
       2.臺階儀還有一個測量薄膜厚度的利器，叫做臺階儀，就是下圖的儀器。它的原理是用一根細(xì)小的觸針在被測表面上輕輕滑動，并記錄下軌跡，這樣你就可以自然地得到物體表面的起伏信息。如果是在膜的邊緣測量，可以記錄下膜面到?jīng)]有膜的位置的高度差，自然可以得到膜的厚度。一般測量幾十納米到微米的薄膜是沒有問題的。
       3.原子力顯微鏡(AFM)原子力顯微鏡其實(shí)和步米的原理差不多，只不過使用的探頭比步米的小，測量精度更高，理論上可以達(dá)到納米級。通過陣列掃描，可以獲得薄膜表面的起伏信息，所以一般用AFM來測量表面粗糙度，這是一個較小的量。當(dāng)然，如果薄膜厚度超薄，也可以在薄膜邊緣獲得厚度信息。下圖中AFM獲得的表面形貌示例。其實(shí)“薄膜"是一個相當(dāng)大的學(xué)科，發(fā)展起來的技術(shù)和理論很多，我只接觸過幾個。所以這里說的方法只是表面的，希望對題主有所幫助。